142432, Московская обл., Ногинский р-н, Черноголовка
Тел.: (095) 962-8074, Факс: (095) 962-8074
Проведение фундаменальных исследований в области физических основ микроэлектроники и свойств микро- и нанообъектов, создание методов контроля и диагностики микро- и наноструктур, разработка новых технологических процессов, поиск и получение новых материалов для микроэлектроники. Развитие научных направлений: металлической наноэлектроники и брэггфренелевской оптики. Разработки в области электронно-лучевой и ионной литографии, плазменно-химического травления, осаждения пленок методами CVD, ЭЦР, электронно-лучевого, магнетронного и лазерного напыления; источники ионов и радикалов компактные; магнетроны; приставки к сканирующему электронному микроскопу; спектрометры рентгеновские флуоресцентные.
Док. 27992
Опублик.: 26.11.01
Число обращений: 4
|
